超純水設備在設計上，采用成熟、可靠、先進、自動化程度高的水處理工藝，確保處理後的超純水水質出水電阻率達到18.2 MΩ.cm。關鍵設備用材料均采用國際主流先進可靠產品，全套係統自動化程度高，係統穩定性高。大大節省人力成本和維護成本，水利用率高，運行可靠，經濟合理。使設備與其它同類產品相比較，具有更高的性價比和設備可靠性。滿足用戶需要，達到符合標準的水質，盡可能地減少各級的汙染，延長設備的使用壽命、降低操作人員的維護工作量.在工藝設計上，取達國家自來水標準的水為源水，再設有介質過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟化器、精密過濾器等預處理係統、RO反滲透主機係統、離子交換混床（EDI電除鹽係統）係統等。 係統中水箱均設有液位控製係統、水泵均設有壓力保護裝置、在線水質檢測控製儀表、電氣采用全自動控製或PLC編程控製器，真正做到了無人職守，同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統一的方法，使設備與其它同類產品相比較，具有更高的性價比和設備可靠性。

目前最常用的超純水工藝：